產品特性

出色的重複定位精度
工作臺導向部採用滾子式“內置齒軌和齒輪形交叉滾子直線導軌”，實現了高剛性和對空氣靜壓軸承無脈動地工作。移動過程中姿勢變化極小，重複定位精度出色。
實現1μm以下的定位精度和行走平直度
徹底追求每一個構成零件的精度，精密裝配，實現了1μm以下的定位精度和行走平直度。
高速度穩定性高
通過動作極順暢的“內置齒軌和齒輪形交叉滾子直線導軌”與無心動磁式直線電機、高性能伺服驅動器的搭配，實現了高速度穩定性。(10mm/s移動時，±1%以下)