可線上量測工件厚度
單軸控制，機器運轉不中斷
工作軸數：3軸
加工精度5μm
磨盤冷卻系統
適用 2~5寸 半導體晶片(磷化銦/砷化鎵/矽晶元……..等等)
磨盤驅動力2.2KW
磨盤規格 Ø508mm
886-2-85123268
886-2-85123143
新北市三重區光復路二段190號
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