獨家先進的雷射探針自動對焦掃描量測技術, ISO 20178-605 規範技術.

具有最大的樣品量測範圍 : XYZ = 60x60x10 mm, AF(Z) = 10 mm

量測精確度可達 : XY=0.1 µm AF(Z)= 0.01 µm

可量測玻璃鏡面, 透明樣品, 具有高反射性樣品